Case study 액체 금속 도포

과제

  • 밸브 방식이나 비듬은 표면장력이 높은 액체 금속을 면도포하기 어려워 균일한 성막을 만들 수 없다.
  • 품종마다 두께를 바꾸고 싶지만 조정이 어렵다.
  • 액체 금속의 밀봉 방법을 찾고 있다.

시책

  • 비접촉 디스펜서를 도입.
  • 실(Seal)제의 선긋기 도포로 댐 형성을 실시

효과

  • 비접촉 디스펜스에 의해 도포 형상이 안정되었다.(위 동영상의 왼쪽, 참조)
  • Jet 디스펜서의 파라미터 변경으로 막후 변경이 가능해졌다.
  • 댐 형성에 의해 액체 금속의 밀봉을 실현.(위 동영상의 오른쪽, 참조)

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