/products/full-automatic-dispensing-machine/semiconductor진공 챔버 방식 도포 장치 MBC-V

최첨단 공정을 위한 새로운 제안
궁극의 보이드리스 솔루션

・감압 하에서의 고정밀·안정적 도포 실현: 무사시 독자적인 디스펜스 기술로 감압 환경 하에서도 안정적인 도포가 가능.
・대량 불량 미연 방지: FAD5100S에서 축적한 UF 특화 2대 기능 DVM·AFC 탑재. 항상 변화하는 공정을 정확하게 파악하여 불량 발생을 미연에 방지.
・최첨단 공정의 도포 자동화 라인 제안: 반송 로봇을 연결한 스탠드얼론, 멀티 챔버, 인라인 등 다양한 자동화 라인을 토털 서포트.

SPECIFICATION개략 사양

명칭
진공 챔버 방식 도포 장치 MBC-V SERIES
형식
MBC-V SERIES
제어 방식
PC+PLC
적용 워크
차량용 기판, 전자 기기, 웨이퍼