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진공챔버 방식 도포장치 MBC-V

진공챔버 방식 도포장치 MBC-V

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최첨단 프로세스에의 새로운 제안
궁극의 보이드리스 솔루션

진공챔버 방식 도포장치 MBC-V 영상-1

애프터 서비스에 대해서

・감압 아래 고정도 안정도포 실현:무사시 독자적인의 디스펜스 테크놀로지에 의해 감압 환경에서도 안정된 도포가 가능.
・대량 불량을 미연에 방지:FAD5100S로 기른 UF에 특화된 2대 기능 DVM AFC를 탑재.항상 변화하는 과정을 정확하게 파악하고 불량 발생을 미연에 방지.
・최첨단 프로세스 도포 자동화 라인 제안:반송 로봇을 연결한 스탠도어 론, 멀티 챔버, 인라인 등 다양한 자동화 라인을 토탈 서포트

SPECIFICATION 개략 사양

명칭
진공챔버 방식 도포 장치 MBC-V SERIES
형식
MBC-V SERIES
제어 방식
PC+PLC
적용 워크
차재 기판, 전자기기, 웨이퍼