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EFEM 대응 웨이퍼 레벨 모든 자동 디스펜스 머신 FAD5100S-WH

EFEM 대응 웨이퍼 레벨 모든 자동 디스펜스 머신 FAD5100S-WH

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/products/full-automatic-dispensing-machine/semiconductorEFEM 대응 웨이퍼 레벨 모든 자동 디스펜스 머신 FAD5100S-WH

고정도 웨이퍼 관리 솔루션
웨이퍼 서열 대응 소프트에서 생산·필렛 검사의 결과를 리마핑(SECS/GEM 준거)

EFEM 대응 웨이퍼 레벨 전체 자동 디스펜스 머신 FAD5100S-WH의 이미지-1

애프터 서비스에 대해서

・ 무정지 연속 동작에 의한 고속 도포
・ 무정지 연속 동작에 의한 고속 얼라인먼트:
　Mu SKY Capture 기능
・ 도포량 관리 자동화 :DVM 기능
・ 보이드 회피에 이상적인 도포 패턴 「리프 라인」을 형성:MCD 기능 [PAT.P]
・ 대량 불량을 미연에 방지:AFC 기능
・웨이퍼 매핑 기능 탑재
・EFEM과 연결된 자동 생산 가능
・웨이퍼 FOUP 대응
・웨이퍼 매핑 기능
・결과 리마핑(SECSGEM 대응) ※옵션

EFEM (Equipment Front End Module)
EFEM은 웨이퍼의 로드, 언로드하는 모듈 장비이며, 웨이퍼를 수납하고 있는 후프(FOUP: Front Opening Unified Pod)과 웨이퍼카세트라고 불리는 용기에서 클린 룸의 기준을 유지하면서 자동으로 웨이퍼를 꺼내 프로세스 장치에 반송하는 역할을 담당하고 있습니다.

SPECIFICATION 개략 사양

명칭
전자동 웨이퍼레벨디스펜스 머신 FAD5100S-WH
형식
FAD5100S-WH
제어 방식
PC/PLC 제어(SMEMA 준수)
적용 워크
12 "웨이퍼, 8" 웨이퍼