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EFEM 대응 하이엔드 디스펜스 머신 FAD5700-WH

EFEM 대응 하이엔드 디스펜스 머신 FAD5700-WH

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/products/full-automatic-dispensing-machine/semiconductorEFEM 대응 하이엔드 디스펜스 머신 FAD5700-WH

웨이퍼 처리의 새로운 시대를 개척하는 통합 솔루션
웨이퍼 서열 대응 소프트에서 생산·필렛 검사의 결과를 리마핑(SECS/GEM 준거)

EFEM 대응 하이엔드 디스펜스 머신 FAD5700 - WH의 이미지-1

애프터 서비스에 대해서

Point
・최첨단 반도체 프로세스(WLP/칩 렛/이종 칩 집적) 대응
・업계 최고 수준의 KOZ에 도포 가능
・EFEM과 연결된 자동 생산 가능
Update
・멀티 헤드 독립 제어, 도포 중량 자동 보정 기능 탑재
・성인화에 공헌하는 최신 UI

・무정지 연속 동작에 의한 고속 얼라인먼트:
　Mu SKY Capture 기능
・무정지 연속 동작에 의한 높이 계측:
　Mu SKY Sensing 기능
・도포량 관리 자동화 :DVM 기능
・대량 불량을 미연에 방지:AFC 기능
・웨이퍼 FOUP 대응
・웨이퍼 매핑 기능
・결과 리마핑(SECSGEM 대응) ※옵션

EFEM (Equipment Front End Module)
EFEM은 웨이퍼의 로드, 언로드하는 모듈 장비이며, 웨이퍼를 수납하고 있는 후프(FOUP: Front Opening Unified Pod)과 웨이퍼카세트라고 불리는 용기에서 클린 룸의 기준을 유지하면서 자동으로 웨이퍼를 꺼내 프로세스 장치에 반송하는 역할을 담당하고 있습니다.

SPECIFICATION 개략 사양

명칭
DISPENS MASTER
형식
FAD5700-WH
제어 방식
PC/PLC 제어(SMEMA 준수)